仪器生产商： 中国 沈阳中科仪
资产编号： TY2017000531
资产负责人： ----
购置日期： 2017-07-27
仪器价格： 69.00 万元
仪器产地： 中国
仪器供应商： ----
购买经办人： ----
主要配件： ----
主要参数： ----
仪器介绍：
1、用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。
2、系统主要由溅射真空室、进样室、永磁磁控溅射靶（三个靶）、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
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